1 . 微型機(jī)械

micrologic 微邏輯micromachine微型機(jī)械micromanipulator 顯微操作設(shè)備顯微檢驗(yàn)裝置精密控制器.

2 . 微切削

microm 測微計(jì), micromachine微切削, microma-nipulation 顯微操作

3 . 微電子機(jī)械

micromachine微機(jī)器人, micromachine微電子機(jī)械, micromachine微機(jī)構(gòu)

4 . 微機(jī)器人

micromachine微切削, micromachine微機(jī)器人, micromachine微型機(jī)械系統(tǒng)

相關(guān)詞條

1 . 表面微

sensor is a capacitive transducer constructed using surface micromachining ., 傳感器是使用電容式傳感器的表面微構(gòu)造.

1 . 體微加工

在一般的實(shí)踐中，把工藝劃分成體微加工（bulk micromachining），其工藝特點(diǎn)是在襯底中進(jìn)行深刻蝕；表面微加工（surface micromachining），其工藝特點(diǎn)是去除薄膜結(jié)構(gòu)下的犧牲層，以釋放能夠活.

2 . 體型微細(xì)加工

本文所制作之微機(jī)械濾波器，具有兩端固定懸臂梁結(jié)構(gòu)，并且整合微機(jī)電制程中的體型微細(xì)加工（bulk micromachining）和溶膠-凝膠（sol-gel）法制作PZT（鋯鈦酸鉛）薄膜兩種技術(shù)而完成的。

1 . 電容式微機(jī)械

design of upper limit of measurement range on capacitive micromachined accelerometer ., 電容式微機(jī)械加速度計(jì)測量范圍上限設(shè)計(jì).

1 . 激光微型工

laser memory 激光存儲(chǔ)器laser micromachining 激光微型工laser microscope 激光顯微鏡

2 . 激光存儲(chǔ)器

4. 激光微型工激光存儲(chǔ)器laser micromachining激光顯微鏡s