2016年12月3日，由中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)組織的西安交通大學(xué) “納米臺(tái)階高度樣板的裝備、比對(duì)和溯源及相關(guān)理論與技術(shù)的研究”科技成果鑒定會(huì)圓滿結(jié)束。
此次鑒定會(huì)在西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院進(jìn)行。同濟(jì)大學(xué)李同保院士、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院高思田研究員、國(guó)家納米科學(xué)中心納米標(biāo)準(zhǔn)研究室葛廣路研究員、陜西省計(jì)量科學(xué)研究院秦宇副院長(zhǎng)、北京理工大學(xué)趙維謙教授、天津大學(xué)胡曉東教授和浙江理工大學(xué)陳本永教授作為鑒定專家參與了該項(xiàng)目的鑒定工作。
鑒定會(huì)由李同保院士主持。在鑒定會(huì)上，鑒定委員會(huì)聽(tīng)取了蔣莊德院士所作的項(xiàng)目總體報(bào)告，包括項(xiàng)目研究背景與意義、技術(shù)路線與研究?jī)?nèi)容、主要技術(shù)指標(biāo)與技術(shù)比對(duì)、項(xiàng)目研究創(chuàng)新點(diǎn)和技術(shù)應(yīng)用實(shí)例；課題組楊樹(shù)明教授作的應(yīng)用、檢測(cè)和查新報(bào)告。隨后專家組審查了項(xiàng)目鑒定資料，并對(duì)西安交通大學(xué)的進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察。隨后，鑒定專家與西安交通大學(xué)課題組開(kāi)展了熱烈地質(zhì)詢討論。
經(jīng)過(guò)全體評(píng)審專家認(rèn)真評(píng)審，一致認(rèn)為：該項(xiàng)研究總體技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中在基于ALD的納米臺(tái)階高度樣板制備方面達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先。成果滿足納米幾何量測(cè)量需求。鑒定委員會(huì)同意通過(guò)鑒定。建議盡快納入國(guó)家納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)體系。
